Benötigt werden zwei baugleiche, hochpräzise 6-Achs-Nanopositioniertische mit zentraler freier Apertur zur Positionierung von Proben, Masken oder Substraten.

Die Systeme müssen in allen sechs Freiheitsgraden (X, Y, Z, θX, θY, θZ) aktiv geregelt betreibbar sein und sowohl über analoge als auch digitale Schnittstellen (z. B. SPI oder äquivalent) ansteuerbar sein.

Wesentliche Merkmale sind eine große zentrale Öffnung, vollständige 6-DOF-Regelung, hohe zulässige Kräfte sowie lange, präzise Verfahrwege.

Link zur Ausschreibung:https://www.evergabe-online.de/tenderdocuments.html?5&id=818923